UV解膠機(jī)是目前應(yīng)用較廣泛的設(shè)備,那么,什么是UV解膠機(jī)呢?
UV解膠機(jī)是一種UV膜和切割膜膠帶粘性降低和粘性解除的全自動(dòng)化解膠設(shè)備。在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)工藝中,芯片劃片之前,要將晶圓
片用劃片膠膜固定在框架上,在劃片工藝完成后,用UV光對(duì)固定膠膜進(jìn)行照射使UV膠膜粘性固化硬化,以降低劃片固定膜的粘性,以便
后續(xù)封裝工序的順利生產(chǎn)。換句話講,UV膠帶具有很強(qiáng)的粘合強(qiáng)度,在晶片研磨工藝或晶片切割工藝期間,膠帶牢固地粘住晶片。當(dāng)紫外
線照射時(shí),粘合強(qiáng)度變低。因此,在紫外線照射后晶圓或芯片很容易從粘膠帶上面剝離脫落,UV解膠機(jī)解決了晶圓、玻璃和陶瓷切割工藝
的解膠工序。
深圳市海特奈德uvled解膠機(jī)采用箱式結(jié)構(gòu),內(nèi)置uvled光源,光源參數(shù)及照射方向均可定制。解膠機(jī)箱門(mén)處裝有門(mén)禁感應(yīng),開(kāi)門(mén)即滅,
關(guān)門(mén)即亮,防止紫外光溢出。UV解膠機(jī)采用UVLED光源有什么優(yōu)勢(shì)呢?
(1)UVLED是冷光源,不會(huì)產(chǎn)生熱效應(yīng);
(2)UVLED的使用壽命較長(zhǎng),一般可到20000小時(shí),是傳統(tǒng)汞燈的10倍以上:
(3)UVLED不包含汞等有害物質(zhì),符合RoHS:
(4)可即開(kāi)即用。